光刻機霸主令光刻機領域都十分頭疼的難題

2020-11-25 16:49:53

近日,尼康公司傳來消息,在疫情的影響下,受核心相機業(yè)務出現下滑;因此公司計劃裁員將近2000人。同樣受到影響的,還有尼康的半導體微顯影業(yè)務。

據尼康公布的第二財季運營數據,該財季尼康虧損261億日元,折合人民幣16億元。尼康的相機、半導體設備兩大支柱性業(yè)務受損,令人為其擔憂。

半導體設備是尼康第二大支柱,占總收入38.8%。在80年代之時,尼康曾是全球第一的光刻機巨頭,占據了業(yè)界超50%的市場。

彼時,英特爾、德州儀器、IBM等大客戶,都要到排隊到尼康拿貨。當時,尼康的受歡迎程度不亞于如今的ASML。

而在尼康風頭正盛之時,ASML才誕生不久,還是一家名不見經傳的小公司。ASML是飛利浦旗下的一家合資小公司,辦公室只是幾間臨時板房,公司只有30余名員工。

彼時,在尼康的壓制下,就連飛利浦對自家光刻機業(yè)務也不看好。在很長時間里,ASML都處在窮困潦倒的狀態(tài),但ASML卻一步步實現了對尼康的超越,令世界刮目相看。

ASML的逆襲之路,要從臺積電一個叫做林本堅的工程師說起。當時光刻機的光源波長卡在了193nm,如何才能讓光源更細,成為了令光刻機領域都十分頭疼的難題。

當時,林本堅認為可以利用光在水中的折射原理,從而達到更高精度,這也就是“浸沒式光刻”方案。不過,林本堅的這一方案,先后被日本、美國等眾多半導體巨頭拒絕。

最終,還是初生牛犢不怕虎的ASML,決定用“浸沒式光刻”方案闖一闖。這一下,還真讓ASML闖出了門道。相較于尼康的干式微影技術157nm光刻機,ASML的光刻機更成熟、縮短光波效果更好,一舉獲得了市場的認可。

也就是從這時開始,尼康在光刻機領域開始走下坡路,逐漸被ASML反超。

同時,尼康在美國政府的干預下,被EUV LLC聯盟排除在外,無法在更先進的極紫外光刻機上實現反超。專家曾指出,“尼康可能會將技術轉移回日本,從而徹底消滅美國光刻機產業(yè)”。因此,美國自然不會養(yǎng)虎為患。

最終,在重重打擊之下,尼康的光刻機業(yè)務不敵ASML,已經不復曾經的輝煌。尼康,曾經日本光刻機霸主,就這樣隕落,令人唏噓。

而在如今,在疫情的影響之下,尼康更是遭遇了新的危機。

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